TY - Jour A2 - Campopiano,Stefania Au - Wang,Yong Au - Sun,Fujun Au - Zhu,Junhui Au - Pang,Ming Au - Ru,长海Py - 2014年DA - 2014/11/24 Ti - Long Stroke纳入阶段由压电机SP-926314 VL - 2014 AB驱动 - 本文报道了一种由压电电动机单次驱动的双轴纳米定位阶段。所采用的压电电动机可以执行两种不同的驱动模式,即交流驱动模式,以便在长冲程中驱动,并且在高速和直流扫描模式下,具有几纳米的高分辨率,这满足了长行程的要求和纳米统计学。为了补偿可变摩擦力和一些不可预测的扰动的影响,提出了一种新的向后误差补偿(BEC)定位控制方法,其集成了两个驱动模式和双闭环PID控制器系统,以获得高精度的位置运动。实验结果表明,具有300mm×300mm的大行程范围的纳米定位阶段具有精细速度特性和分辨率为5 nm。在不同行程的实验中,由商用激光振动器校准校准,定位精度在55纳米范围内证明
X-axis和40 nm
y- 标准偏差小于40 nm
X-axis和30 nm
y- 最终位置锁定可以限制为10nm,满足微操纵技术的要求。SN - 1687-725X UR - HTTPS://Doi.org/10.1155/2014/926314 Do - 10.1155 / 2014/926314 JF - 传感器PB - Hindwi Publishing Corporation KW - ER -